新開発 VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタと VT シリーズ変換器の組合せにより、測定対象（鉄、アルミ、銅、各種金属メッキなどの導電体）までの距離・変位を非接触で高精度に測定する静電容量式微小変位計です。

測定対象物面とそれと対向して設置された VE シリーズセンサ電極の端面とが形成するコンデンサの静電容量から、センサ端面とターゲット面のギャップ・変位を測定します。

応答周波数が 4kHz の VT-5210 と高速応答 10kHz 対応の VT-5220 の２機種をラインナップ。タービン、電動機、コンプレッサといった回転機の軸振動や面振れ、シリコンウェハ、ハードディスク等導電体の反りや平面度・厚さの測定制御に威力を発揮します。

非接触検出のため、回転あるいは振動する測定対象物に負荷をかけず、そのうえ振動モードをかえることもありません。VEセンサは 測定範囲 20μm ～ 8 mm 用まで9種類を用意しました。